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应用范例

D-2-1 1μm精度的硅晶圆的厚度测量

● 对于4英寸以下的小型硅晶圆,可以使用ST-0230传感器支架。对于6英寸以上的大型硅晶圆测量台,请另行咨询。(图像示例已有实际使用的经验)

产品配置

  型号 产品名称 备注 数量
1 GS-3813B 数字式位移传感器 - 1
2 ST-0230 传感器支架 - 1
3 DG-5100 数字式位移计数器 - 1
5 AX-2050N 电源电缆(3m) - 1

備考