E-4-1 薄膜（绝缘体）的非接触厚度测量(薄膜移动中测量)
● 在生产线上以非接触方式测量薄膜等的厚度。传感器和导体需要平行安装。
在这个例子中，使用的是VE-5010（测量范围 50 ～ 500 μm，分辨率 0.1 μm）。
使用VE-5010时，装配CL-0200高分辨率处理功能（选配）可以将分辨率提高至0.05 μm。
通过加装CL-0201 VE-5010/5011测量范围变化（选配），可以将测量范围指定为20 ～ 200 μm。
在这种情况下，当安装高分辨率选配功能时，显示分辨率为 0.02 µm。
产品配置
| 型号 | 产品名称 | 备注 | 数量 | |||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 1 | VE-5010 | 静电容量式微小位移传感器 | - | 2 | ||
| 2 | CL-5610 | 非接触静电容量式厚度计 | - | 1 | ||
| 3 | CL-0300 | 絶縁体測定機能 | - | 1 | ||
|
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