实现高性能和高可靠性的激光振镜

激光振镜是用于调整反射激光束的镜面扫描角度的电机，并配有高精度的位置传感器。该产品与激光束结合使用，可用于激光打标机、显微镜和激光雷达等。根据应用的不同，要求反射镜能高速、高精度地扫描大面积区域。因此，在产品开发过程中，需要进行高精度的仿真以实现高速，同时还需要优化模型和控制参数。 此外，为确保客户能够放心使用产品，有必要在出货前检查产品的性能是否有保证。 因此，评价激光振镜的控制特性，以及简单高精度地测量和把握反射镜的共振频率是一个课题。

高精度、高频率（100 kHz）FFT分析仪和专用应用软件可方便确认频率特性
增加通道数量，减少测量工时

通过使用 DS-5000（FFT分析仪）100kHz 4通道型和测量频率响应的专用应用软件 OS-4100（频率响应测量软件），可在一台硬件设备上进行三种类型的测试分析实验。
决定采用该系统的原因有以下三点。

①增加通道数量，减少测量工时
我们以前用2通道进行测量，但本次安装了4通道单元。
相对于电压信号，可同时测量两种信号(位置传感器信号和电机电流信号)，电压信号在评价控制特性时用作基准。
识别位置传感器和电机电流值的特性，有助于提高模拟精度和最优化控制。

②自动分辨率功能可实现自动设定
在确认反射镜的共振频率时，有必要仅在共振附近增加频率分辨率。
使用自动分辨率功能，可自动增加共振附近的频率分辨率，而无需测量人员进行任何设定。
这样可以避免测量人员的设定错误。

③采用硬件绝缘技术确保测量安全
即使在容易出现接地环路、噪声和电位差的物体上也能方便地进行测量。可避免因接线错误造成的故障。

通过比较数据，可以很容易地发现缺陷产品。
获取的数据可以在软件上进行重叠表示，以方便识别差异。

实现控制参数的最优化
把握控制参数在发生变化时，控制特性是如何变化的。

关于导入OS-4100和DS-5000

我们使用小野测器的伺服分析仪（DS-3000系列）已有一段时间，因为使用频率很高，为了扩充设备，于是追加购买了DS-5000。
并且，测量通道数量增加到4通道（现有的DS-3000系统为2通道）。
在测量控制特性时，现在可以同时测量位置（角度）和电流特性，从而提高了工作效率。

该设备用于产品出货前检查和产品开发，对产品开发的提高模拟精度提供了重要的贡献。
今后，我们的目标是使用外部控制实现测量自动化，以消减出货前检查所需的工时。

关于今后的产品开发

今后，我们将对仿真模型进行最优化和利用深度学习，开发出更多高响应、高质量的激光振镜。
激光振镜可用于半导体检测设备、医疗设备（如眼底检查设备）、加工设备（激光打标）和汽车（如激光雷达）。我们将继续开发和制造高质量、高响应性的检流计式扫描振镜，为这些行业做出贡献。

西铁城千叶精密株式会社 开发部控制课 负责人

与PC搭配使用的频率特性分析仪
实现高速和高分辨率的频率响应函数的简易测量

频率响应分析软件 OS-4100（伺服分析仪和频率响应分析仪）是测量各种对象物体的频率响应的专用软件，例如机械结构物的振动特性、扬声器的声学特性、电机的控制特性、伺服分析、联轴器的响应特性和电池的阻抗特性。
可用作伺服分析仪或频率响应分析仪，操作者可以简单方便地获得高速、高分辨率的频率特性。

频率响应分析软件 OS-4100

频率响应分析软件 OS-4100
（伺服分析仪・频率特性分析仪）